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四探针电阻率方阻测试︱四探针探头的选择：
四探针探头是四探针法测试电阻率/方阻测试系统的关键部件。探头通过四根探针，以适当的压力和点阵形式与样品接触，连接四探针仪器后，实现四探针法电流的加载，电压的取样。应根据样品的物理特性，如是固╱体还是粉末，是一般硅片、金属等硬质材料还是柔性薄膜、涂层、ITO膜类材料，是单一导电层材料还是复合导电层，样品的尺寸大小等条件来选择探头的压力和点阵形式，选择型号。
表2《四探针探头型号规格特征选型参照表》
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序号 |
型号 |
名称 |
特征图片 |
规格参数 |
选用场合 |
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1 |
ST2253-F01 |
钨针
直线四探针探头 |
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直线四探针
针距：1+1+1，
探针：碳化钨针 |
硅片、金属等→硬材料电阻率/方阻测试 |
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2 |
ST2558A-F01 |
光伏电池片方阻
直线四探针探头 |
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直线四探针
针距：2+2+2，
探针：长钢尖针 |
硅材料光伏电池片方阻测试 |
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3 |
ST2558A-F02 |
薄膜方阻
刀型测试台 |
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刀型测试台
刀距100，
刀宽100 |
柔性薄膜、金属涂层膜方阻测试 |
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4 |
ST2558B-F01 |
薄膜方阻
直线四探针探头 |
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直线四探针
针距：2+2+2，
探针：镀金磷铜半球形针尖 |
柔性薄膜、金属涂层膜、ITO膜电阻率/方阻测试 |
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5 |
ST2558B-F02 |
箔上涂层电阻率方阻
四端子探头 |
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针距8，
直径4
探针：
圆柱平端面 |
箔上涂层电阻率/方阻测试 |
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6 |
ST2558B-F03 |
薄膜方阻
直线四探针探头 |
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直线四探针
针距1+1+1，
探针：镀金磷铜半球形针尖 |
柔性薄膜、金属涂层膜、ITO膜电阻率/方阻测试 |
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7 |
ST2571A-F01 |
薄膜方阻
矩形四探针探头 |
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矩形四探针
针距1X1
探针：碳化钨针 |
硅片电阻率和方阻仪 |
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8 |
ST2571A-F02 |
薄膜方阻
矩形四探针探头 |
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矩形四探针
针距1X1
探针：镀金磷铜半球形针尖 |
柔性薄膜、金属涂层膜、ITO膜电阻率/方阻测试 |
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9 |
ST2571A-F03 |
薄膜方阻
矩形四探针探头 |
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矩形四探针
针距2X2
探针：镀金磷铜半球形针尖 |
柔性薄膜、金属涂层膜、ITO膜电阻率/方阻测试 |
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