?SZT-K型两探针电阻率测试台
?操作使用说明书
一 、功能与结构特征概述
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?? 基本功能：SZT-K1型两探针电阻率测试台，是用来装夹棒¤类样品（圆或方ω 截面），连接四探针测试仪器，进行◎两探针法电阻率测试的机具。是两探针法测试电阻率仪器的配套测量装置（以下简称测试台）。设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电卐阻率测定方法》，GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》，GBT 24525-2009 《炭素材料电阻率测定方法》。
??? 基本组成：测试台主要有底板、双轨水平々导向单元、探头水平移动↓及测试压力调节单元、左右样品装夹单元等。
??? 配套与兼容：本测试台自带两探针测试探头，兼容本公司大部分四探针测试仪器。
二、基本参数和█可测半导体材料尺寸 ?
??? 两探∞针针距：10mm,15mm,20mm可调
??? 可测样品：直径或边长:??? 圆截面≤ Φ50mm，或≤ 50mm×50mm方截面。
??? 长(或高)度：? 两端面顶持方式L≤420mm, 侧面夹持方式不限.
??? 测量方位： ???轴向（长度方向）。
三 、使用方法
???? 3.1 放置样品：
???? 根据样品长短和需要选择样品装夹方式，对于较粗短的适合用两端面对顶夹持方式，如图3.1A。对于较细长的样品适合用两端侧↙面夹持的方式，如图3.1B。
两端面夹持的方式样品放置操作步骤如下：
???? 首先，把≡红色扳手向上向后板起，把☉两探针测试探头向上抬起，便于样品装夹，图3.2A,转动测试台底板右侧手轮，使得右装夹电极单元移动到左右电极距离稍大于样品长度，如图3.2A，左手托起样品，水平置▼于两电极之间，参照左右电█极的“V”型槽和测试探头探针位置，将样品水平置于探头探针正下方，合适的垂直高度，右手转动手轮，向左移动右电极将样◣品从两端面夹紧。如图3.2B。为了样品和电极】接触良好，最好在接触面︽垫上炭纸，下同。
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????? 两端侧面夹持的方式样品放置操作步骤如下：
参照图3.1B,参照端面夹持的方←式，不同的是，先调节左右电极上的夹紧螺母，使得左右两个活动上电极先向上，使得上下电极反“V”型槽之间有足够空间穿放样品。样品放好，调节垂直锁紧螺母，夹紧样品。如图3.2C。
??? 3.2探头探针压力调整：
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???? 将测试台↓上部操作扳手向前向下，压下探头。如图3.3A,在探头∩压下的状态下，可根据样品上侧面和探头探针尖的距离，如图3.3B,调节测试台垂直导轨支架中部螺●杆上的螺母（先松开锁紧︻螺帽），如图3.3C,观察探头探针压下程度，调节√测试压力！一般以探针被压缩2mm行程为宜。调好后锁紧锁紧螺◣帽。???????????????????
??? 3.3 调节修正系数，读取电阻◆率值：
根据☆样品截面S和两探针针距L,查说明书附表，得修正系数K,输入到仪器中，直接读取电阻率★值，仪器操↘作参考所配仪器说明书。
??? 3.4 测试样品不同段点的电阻¤率值：
一个段点测试完毕，抬起探头，水平移动探头单元，在选择的另一段点压下探头即可，直接读取电阻率值。
??? 3.4 付卸样品：
??? 先抬起■探头，对于端面夹持的→样品，要在手托好样品后，转动手轮松开样品，再移去样Ψ 品。对于穿芯式侧面夹持的样品，松开两电极上方的锁紧螺母后，从两端抽取出样品。
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五、联系方式：18914021918/0512-80973697? QQ:1064887318 丁先生
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